사업화 유망기술

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용액전사방식 연속 나노임프린트 기술

기술분야 반도체/센서 세부분야 반도체
기술개요 다층 나노임프린트장비 원천기술을 이용하여 용액전사공정과 나노임프린트 공정을 융합하여 6인치 크기에 나노패턴을 연속적으로 전사하는 기술
기술특징 실험 결과, 기여측에 도포된 폴리머는 거의 50% 정도씩 떼어낼 수 있기 때문에 기존 나노임프린트 공정과 다르게 잔류층의 두께를 현저히 줄일 수 있어 에칭공정이 거의 불필요하며, 후속 공정을 구현이 용이함
선접촉 또는 면접촉이 연속적으로 이루어지며 공정을 수행하므로 비교적 낮은 하중(load)으로 대면적 및 유연 기판에 공정을 수행함
용액전사방식 롤 나노임프린트 공정은 기역측(donor side)에 도포된 폴리머를 롤 스템프를 이용하여 일정한 두께로 떼어다가 수여측(acceptor side)에 전사하는 공정으로 잉킹공정과 유사하나, 나노패턴을 전사할 수 있다는 점과 UV를 이용하여 다층으로 폴리머를 전사할 수 있다는 점에서 크게 다름
기여측에 셋팅된 폴리머는 스핀코팅을 통해서 일정한 나노박막으로 전사하여 공급하며, 나노스템프를 이용하여 떼어낸 폴리머는 수여측에 전사되며, 수여측의 표면은 균일하지 않아도 일정한 패턴형성이 가능함
기존 나노임프린트 공정과 다르게 잔류층의 두께를 현저히 줄일 수 있어 에칭공정이 거의 불필요하며, 후속 공정 구현이 용이함
기술/시장/동향
적용분야/시장 유연 전자소자, 디스플레이, 솔라셀, WGP
보유기관 기계연 개발단계(TRL) TRL4

관련특허

출원번호 2013-0045213 출원일 2013-04-24
등록번호 1303194 등록일
특허명 롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법(Liquid transfer imprint lithography apparatus using a roll stamp and the method)
출원번호 PCT-KR2013-012297 출원일 2013-12-27
등록번호 등록일
특허명 APPARATUS AND METHOD FOR SOLUTION TRANSFER-TYPE IMPRINT LITHOGRAPHY USING ROLL STAMP
출원번호 2004-0010591 출원일 2004-02-18
등록번호 0585951 등록일
특허명 조합/분리형 독립구동이 가능한 복수 개의 모듈을 갖는 임프린팅 장치(A construction/separation type individually actuating imprinting apparatus)
출원번호 2006-0137954 출원일 2006-12-29
등록번호 0784827 등록일
특허명 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅 장치(Imprinting apparatus for making uniform contact between stamp and wafer and/or substract)
출원번호 2010-0020872 출원일 2010-03-09
등록번호 1093820 등록일
특허명 임프린트 리소그래피 장치(IMPRINT LITHOGRAPHY APPARATUS)
출원번호 2012-0078581 출원일 2012-07-19
등록번호 1238628 등록일
특허명 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치(Continuous nano-imprint system using rotatable angulated roll stamp)
출원번호 2012-0128768 출원일 2012-11-14
등록번호 1299919 등록일
특허명 나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법(Nano-imprinting apparatus and Nano-imprinting method for using the same)
출원번호 2013-0035234 출원일 2013-04-01
등록번호 1332323 등록일
특허명 롤스탬프 제조장치, 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 및 복제스탬프 제조방법(Apparatus for manufacturing roll stamp, method for manufacturing roll stamp using the same and method for manufacturing replication stamp)
출원번호 2006-0137947 출원일 2006-12-29
등록번호 0784826 등록일
특허명 롤스템프를 이용한 나노임프린팅 리소그래피장치(Nano imprinting lithography apparatus using roll-stamp)

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