사업화 유망기술

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직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조기술

기술분야 반도체/센서 세부분야 반도체
기술개요 광경화성수지를 평면 상에 코팅하고, 그 위에 빛을 조사하여 위상화절격자 패턴을 제작하는 기술
기술특징 종래에는 위상회절 격자를 식각 등의 공정을 거쳐서 복잡하게 제작
본 발명은 광경화성수지를 이용하여 간편하게 제작
광경화성수지는 적당한 파장의 빛을 받으면 굴절률이 변함, 이를 이용하여 회절격자 생성고부가가치 광학부품인 위상회절격자를 손쉽게 제작고부가가치 광학부품인 위상회절격자의 국산화
기술/시장/동향 세게 과학기기 시장 규모는 2005년 240억불로 연평균 5~6%의 꾸준한 증가세 유지 : 2010년 300억불 이상으로 성장 기대
세계선도 기업은 53개 회사에 달하며, 미국, 일본, 독일 등 상위 3개국에 속한 기업이 세계시장의 83% 차지
국내의 경우 2003년 수출입통계에 따르면 세계 시장의 2.5% 정도인 약5억$ 정도이며 2010년에는 10억$ 정도가 예상됨
국내 기업들의 제품생산 경쟁력 강화를 위한 분석기기의 수요가 증가 할 것으로 예상되며, 특히 세계 일류기업은 더 이상 일본, 미국 등의 경쟁회사에게 분석기술을 이전 받을 수 없어 자체적으로 기기회사들과의 공동 개발에 대한 수요가 급증할 것을 예상
적용분야/시장 위상회절격자 및 격자형태의 마스터웨이퍼, 마스터 롤(roll)제작
보유기관 표준연 개발단계(TRL) TRL4

관련특허

출원번호 2012-0087418 출원일 2012-08-09
등록번호 1389320 등록일
특허명 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치, 위상회절소자 제조방법 및 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자(Apparatus and method for manufacturing phase

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