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(Eng) 멀티 웨이퍼 검사 장비를 위한 핵심모듈 설계 및 제어

(Eng) 멀티 웨이퍼 검사 장비를 위한 핵심모듈 설계 및 제어 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 융합연구기술
기술테마 측정/검사/시험
연구기관 한국생산기술연구원 연구자 남경태
기술내용 Core module design and control technology for multi-wafer inspection equipment
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