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소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
열악환경에 따른 전구체 상태 진단장치 및 진단방법
강상우
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소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법
윤주영
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도금
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
실리콘 화합물 박막의 형성방법
강상우
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측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
실리콘 웨이퍼의 비아홀 측정 장치 및 방법
진종한
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전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
시편 제작방법
윤주영
281
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
변압기 절연유의 수소가스 농도 측정 방법 및 장치
오상협
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전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
반응공정 진단 구조체
강상우
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전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
반도체 코팅설비의 오염 진단장치 및 진단방법
윤주영
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전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
반도체 제조용 반응공정 진단시스템
윤주영
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전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
반도체 제조공정을 위한 전구체 순도 측정방법
윤주영
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